Cryopumps er opdelt i to typer: injektionstype flydende helium cryopumps og lukket kredsløb gas helium køleskab cryopumps.
Injektion flydende helium cryopump
Den består hovedsageligt af en flydende heliumbeholder, et pumpelegeme og et flydende nitrogenhulrum forbundet med en baffel. For at reducere forbruget af flydende helium vedtager ydervæggen i den flydende heliumbeholder en dobbeltlags varmeisoleringsvæg og evakueres imellem.
Når pumpen forpumpes til Pa-tryk, injiceres flydende nitrogen og flydende helium, og gassen kondenserer på den fungerende kolde plade på 4,2K. Efter forpumpning er partialtrykket af helium og hydrogen i rækkefølgen Pa, så pumpen kan opnå det ultimative tryk under Pa.
Hvis den flydende heliumbeholder evakueres og dekomprimeres til 6650 Pa, kan temperaturen på det flydende helium reduceres til 2,3K, og der kan opnås et lavere grænsetryk.
Lukket cyklus gas helium køleskab cryopump
Det er en ny type kryopump, der dukkede op i 1970'erne. Denne pumpe bruger ikke helium, er nem at betjene, nem at vedligeholde og bruges i stigende grad.
Køleskabets kølemedium er gashelium, temperaturen på den første trins kolde plade er 50-100K, og den typiske anvendelse er 65K, som bruges til at kondensere vanddamp og forkøle andre gasser; temperaturen på den anden fase kolde plade er 10-20K, som bruges til at kondensere nitrogen, gasser som ilt og argon.
Den indre overflade af den sekundære kolde plade er belagt med aktivt kul. Aktivt kul har stærk adsorptionskapacitet for helium, neon og hydrogen ved lav temperatur. Den kolde plade er lavet af iltfrit kobber, og overfladen er poleret til et spejlniveau for at reducere emissiviteten.
Pumpens ultimative tryk er Pa, arbejdstrykområdet er Pa, og forpumpetrykket skal være 1 Pa. Pumpehastigheden for det færdige produkt har nået 60.000 liter / sekund. Derudover kan luftudsugningskuldepladen i henhold til processens egenskaber arrangeres i den pumpede beholder, og luftudsugningshastigheden kan nå mere end 106 liter / sekund.
Strukturelle træk
Lodret struktur: egnet til nedgravning i jorden, den vil ikke blive påvirket af motorens varme luft, lufttemperatur og solskin osv., Og det er let at holde koldt; det kan reducere pumpens sugehøjde, øge påfyldningshovedet og forbedre den effektive NPSH; den lodrette struktur også Det er gavnligt at udsugningsluft, så ophængningsakslen har tilstrækkelig højde til at lette arrangementet af akselforseglingsanordningen, så pumpen kaldes også en lodret tøndepumpe.
Symmetrisk struktur: Pumpens overordnede struktur stræber efter at være symmetrisk arrangeret, så den kan deformeres ensartet i kold tilstand. Det kolde hoved vedtager generelt en to-trins mekanisme, den første fase når 80K, og den anden fase når en temperatur på 10K.
Dobbeltlags skal: For at holde koldt og lette transporten af farlige medier laves det normalt til en dobbeltlags skal. Den indre skal udsættes for pumpetryk, og sugetrykket er mellem den indre skal og den ydre skal, hvilket passende kan reducere styrkekravene til den indre skal. Den ydre skal skal laves til et vakuummellemlag, hvilket har opnået effekten af varmeisolering.