Kryopumper er fremstillet efter princippet om gaskondensering, kryogen adsorption, kryogen fangst eller sugning for at opnå vakuum.
1. I henhold til pumpens arbejdstryk kan den opdeles i kryopumpe for kontinuerligt flowområde, kryopumpe for molekylært flowområde, sædvanligvis kondensatpumpe plus et adsorptionstrin eller et kryogenisk indfangningstrin.
2. I henhold til kølemetoden kan den opdeles i lagertank-kryopumpe, fordampnings-kryopumpe og køle-kryopumpe. Blandt dem bruger lagertankens kryopumpe og den fordampende kryopumpe begge flydende kølemiddel til køling, køleskjoldets overflade er almindeligt anvendt flydende nitrogen, og den kryogene overflade er almindeligt anvendt flydende helium eller gashelium til køling. På grund af brændbarheden, eksplosiviteten og den høje pris på flydende brint bruges det stadig sjældent på trods af dets højere fordampningsentalpi end flydende helium.
Køle-kryopumpe-køleskabe bruges almindeligvis af Gifford. McMahon-type (benævnt GM-køleskab) og Stirling-typen (benævnt St-køleskab). Til køle-kryopumper med høj pumpehastighed kan der bruges et flydende helium-køleskab i temperaturkvalitet, og en JT-ventil kan indstilles til at danne en væskecirkulationskøleanordning, og nogle gange bruges flydende nitrogen i en væskeopbevaringstank eller nitrogen-likvefaktionsmaskine til at afkøl baflen og skjoldets overflade.
Den vigtigste præstation af kryopumpe
①Højere end pumpehastigheden, bedre end alle andre typer pumper.
②Der er ingen begrænsninger på formen, den kan nedsænkes i vakuumkammeret eller fastgøres på væggen af vakuumkammeret med en flange.
③Det kan give et helt rent vakuum uden forurening af vakuumsystemet.
④Vakuumgrad af ekstremt lavt tryk kan opnås, såsom under 10-12Pa. Desuden er driften af kryopumpen pålidelig, og når pumpehastigheden er relativt stor, er driftsomkostningerne ved dens investering lavere end for den traditionelle vakuumpumpe, og det er let at realisere automatisering.