En kryopumpe er en vakuumpumpe, der bruger en lavtemperaturoverflade til at kondensere gas, også kendt som en kondensatpumpe. Kryopumpen kan opnå et rent vakuum med den højeste pumpehastighed og det laveste endelige tryk og er meget udbredt i forskning og produktion af halvledere og integrerede kredsløb, såvel som molekylær stråleforskning, vakuumbelægningsudstyr, vakuumoverfladeanalyseinstrumenter, ion implantater og rumsimulering. enheder mv.
Pumpeprincip Kryopumpen er udstyret med en kold plade afkølet til en meget lav temperatur med flydende helium eller et køleskab. Det kondenserer gassen og holder kondensatets damptryk under pumpens sluttryk for at opnå pumpeeffekten. Hovedfunktionerne ved lavtemperaturpumpning er lavtemperaturkondensering, lavtemperaturadsorption og lavtemperaturindfangning.
kryopumpe
① Lavtemperaturkondensering: Gasmolekyler kondenserer på overfladen af den kolde plade eller på det kondenserede gaslag, og ligevægtstrykket er stort set lig med kondensatets damptryk. Ved pumpning af brint er koldpladetemperaturen lavere.
②Lavtemperaturadsorption: Gasmolekylerne adsorberes på overfladen af adsorbenten belagt på den kolde plade med en tykkelse på et molekylært lag. Ligevægtstrykket for adsorption er meget lavere end damptrykket ved samme temperatur.
③ Kryogenisk fangst: Gasmolekyler, der ikke kan kondenseres ved ekstraktionstemperaturen, begraves og adsorberes af det voksende lag af kondenserbar gas.